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薄膜切割 聚酰亚胺激光打孔 玻璃纤维板激光异形切割微纳打孔

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加工精度 ±20um 加工厚度 0.05-2mm
加工材质 硅片、晶圆片、陶瓷、玻璃 加工幅面 200*200mm
最小孔径 0.01mm 最细线宽 15μm
加工特点 边缘光滑无毛刺